Heechprestaasjes IGS-oerflakmontage C-sealfilters foar healgeleidergasleveringssystemen
Beskriuwing
HENGKO oerflakmontagefilters binne ûntworpen om te foldwaan oan 'e easken fan yntegreare gassystemen dy't brûkt wurde yn OEM-ark foar healgeleiders. Dizze filters biede liedende filtraasje yn 'e sektor by 0,003 µm en soargje foar útsûnderlike prestaasjes en betrouberens mei in dieltsje-ynterceptie-effisjinsje fan ≥99,9999999% (9-LRV) by 120 slpm.
Dizze filters binne makke fan robuust 316L roestfrij stielpoeder sintere foar it filterelemint en de húsfesting, en foldogge oan de SEMI F86-0304-spesifikaasjes, mei twa-poarte-komponinten dy't oanpast binne foar 1.125” gasdistribúsjesystemen mei in C-seal-konfiguraasje. Se stypje in maksimale ynlaatdruk fan 3.4 MPa by 100°C en in maksimaal wurkdrukferskil fan 0.69 MPa by 100°C.
Dizze spesjalisearre filters, kompatibel mei sawol C-type as W-type sealspesifikaasjes, berikke downstream suverens mei dieltsjefrijlitting fan
Mei in oerflakfinish fan Ra< 1,6 µm oan 'e bûtenkant en RaMei in dikte fan < 0,13 µm oan 'e binnenkant binne se ûntworpen om hege temperatueren oant 460 °C te wjerstean. Dizze filters binne ûntworpen foar maklike yntegraasje en modulêre ûntwerpupgrades, ferienfâldigje de ynstallaasje en it ûnderhâld, wêrtroch't de systeemprestaasjes yn tapassingen foar healgeleidergaslevering en kontrôle optimalisearre wurde kinne.
Produktfunksje
▶ Algemiene konstruksje fan 316L roestfrij stiel
▶ Miniaturisearre ûntwerp, kompakte struktuer, romtebesparjend
▶ Uitstekende gasferfangings- en desorpsje-eigenskippen
▶ Hege temperatuer, hege druk en korrosjebestindich
▶ Elektro-gepoleerde 316L roestfrij stielen húsfesting
▶ Maklike en effisjinte ynstallaasje en ûnderhâld
▶ Mechanyske ôfsluting, struktureel net-lassen oan it medium
Gegevensblêd
| Technyske parameters | Wearden |
|---|---|
| Filterelemintmateriaal | 316L RVS Sintered Poeder |
| Húsfestingsmateriaal | 316L roestfrij stiel |
| Maksimale ynlaatdruk | 3,4 MPa by 100 °C |
| Maksimaal wurkferskil | 0,69 MPa by 100 °C |
| Heliumferifikaasje Lekrate | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Helium Test Lekrate | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Oerflakbehanneling | Bûtenste oerflak Ra< 1,6 μm |
| Binnenste oerflak Ra< 0,13 μm | |
| Maksimale wurktemperatuer | 460°C |
| Effisjinsje fan dieltsjesûnderskepping | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Referinsje MPPS, alle dieltsjes) |
| Stroomôfwaarts skjinens | Dieltsjefrijlitting:< 0,03 dieltsjes/liter (< 1 dieltsje/ft³) |
| Flechtige stoffen:< 10 ppb focht | |
| Grutte fan dieltsjesûnderskepping | ≥0.003 μm |
| Flowberik | 0 ~ 120 slpm |
Grutte
Hjir is it ûnderdielnûmer dat jo kinne bestelle en details oer de grutte:
| Produktmodel | Stromingssnelheid | Hichte H (mm) | Filtraasjepresyzje | Reinigingsnivo |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0,003 μm | C |
Typyske tapassingen
Foar gebrûk mei W-seal en C-seal, 1.125” en 1.5” oerflakmonteare modulêre gasleveringssystemen.
Stjoer jo berjocht nei ús:
